主被動隔振方案針對Park AFM的應用簡述

背景

隨著國內外儀器發展對于精密化要求越來越高，特別是光學行業的蓬勃發展，無論是工業生產還是科學實驗對于隔振的要求越來越高，基于此我們卓立特別聯合韓國Park公司向大家重點推出主動隔振平臺系列，對于Park大家應該比較熟悉，在AFM領域中屬于領*羊的存在，那么關于Park的AFM的隔振方案中到底是如何實現的呢？接下來將為大家一一解密和剖析。

簡單介紹一下AFM的應用：

原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，AFM）以下用AFM代替，是一種可用來研究包括絕緣體在內的固體材料表面結構的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質的表面結構及性質。因為，并且自從1986美國斯坦福大學的GerdBinnig博士發明第一臺AFM開始，經過25年的科技發展及商業推廣，AFM逐漸成為了納米級領域對材料和細胞進行成像和測量的重要工具之一。AFM的實際的樣本呈現是利用原子之間的范德華力（Van Der Waals Force）作用來呈現樣品的表面特性，所以對于實驗環境和測試環境的隔振要求很高，往往需要達到vc-f級別。

基于上述AFM對于實驗環境越來越高的要求，并且經過市場端多年對于隔振水平的測試和試驗，從被動式的隔振方案到負剛度的隔振器，最后到主動的隔振方案各種嘗試，最后發現在絕大數環境下，使用被動+主動的方案是對于AFM的實驗效果*好的解決方案，那么在這一塊Park公司采用了被動式氣浮平臺(TPR)+桌面式主動隔振平臺（I4)的方案進行優化和整合，具體展示如下圖1：

圖1

其中被動式氣浮隔振平臺TPR系列是卓立漢光獨立自主研發的三線擺氣浮平臺，其被動的固有頻率以及隔振效率如下:

固有頻率

垂直方向<1.5~2.5Hz;

水平方向<1~1.5Hz

隔振效率:

垂直方向:5Hz時:75~92%;10Hz時:90%~95%

水平方向:5Hz時:88~94%;10Hz時:92%~98%

水平及垂直的傳遞效率曲線如下圖2

圖2

主動隔振方案是采用I4，下圖3

圖3

I4的主要隔振帶寬在0.6-200hz，I4是*先進的主動臺式隔振系統，同時I4還擴展了應用能力。主要特點是自動運輸鎖定模式和全自動負荷調節，使操作極為簡單。僅需幾秒鐘即可啟動Accurioni4不需要調整或調諧。控制面板是不言自明的，整個系統僅由三個按鈕控制。這使用戶能夠完*專注于應用程序。除了AFM相關領域的應用，同時I4也對以下應用有很好的隔振效果（見圖4）

圖4

同時針對我們不同的應用及精密儀器負載，I4具有3款系列可供大家選擇，詳細參數可參考下圖5

圖5

相信大家經過上述的方案對于AFM應用的隔振方案有了大概了解，通過使用zolix的被動式三線擺氣浮平臺TPR系列來隔絕環境大部分的高頻振動和Park的桌面式主動隔振臺I4系列來隔絕環境中微小低頻振動，經過TPR+I4的主被動隔振方案極大的提高了AFM等相關超高精度儀器的隔振環境，為實驗或生產帶來非常好的觀測結果。

最后，歡迎大家隨時來詢相關方案，我們近期將會就隔振方案特別是主動隔振為大家提供更多的隔振方案，提升我們精密儀器儀表的蓬勃發展提供綿柔之力！