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線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列
LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)
產(chǎn)品特色
· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)
· 5nm 最小步伐
· 超高真空，完*無磁版本
· 百萬次全行程耐久測(cè)試
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸
LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)選型表
產(chǎn)品參數(shù) | LS35x.Lab | LS35x.Lab.E | |
1 | 特殊版本 | .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； .NM，完*無磁版本； | ? |
2 | 外形尺寸 | 35 × 35 × 12 mm | |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 不銹鋼：85 g；NM，純鈦；65 g | 不銹鋼；85 g |
4 | 運(yùn)動(dòng)行程 | 20 mm | |
5 | 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
6 | 驅(qū)動(dòng)力 | 典型值：2 N ；可選配：4 N | 2 N |
7 | 保持力 | 典型值：3 N ；可選配：5 N | |
8 | 水平方向使用*大負(fù)載 | 1 kg | |
9 | 豎直方向使用*大負(fù)載 | 默認(rèn)：100 g，可選配：250 g | |
10 | 雙向位置重復(fù)精度 | ±100 nm | ±300 nm |
11 | 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad | |
12 | 最小步伐（閉環(huán)) | 5 nm | 100 nm |
13 | 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | |
14 | 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； | 50 nm |
15 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) | |
16 | 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S系列 | |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 斷電位置自保持
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 納米級(jí)分辨率
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸
LS35z.Lab垂直位移臺(tái)選型表
序號(hào) | 參數(shù)項(xiàng) | LS35z.Lab | LS35z.Lab.E |
1 | 特殊版本 | .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完*無磁版本 | 無 |
2 | 外形尺寸 | 35 × 35 × 41 mm | 35 × 35 × 41 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版.HV, .UHV 不銹鋼: 250 g；.NM, 純鈦，陶瓷: 160 g | 不銹鋼；250 g |
4 | 運(yùn)動(dòng)行程 | 10 mm | 10 mm |
5 | 速度范圍 | 默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s- | |
6 | 保持力 | 7.5 N | 7.5 N |
7 | 水平方向使用*大負(fù)載 | 典型值: 500 g；可選配: 1.5 kg- | |
8 | 雙向位置重復(fù)精度 | ±150 nm | ±300 nm |
9 | 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
10 | 最小步代 (閉環(huán)) | 5 nm | 100 nm |
11 | 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
12 | 位置傳感器分辨率 | 默認(rèn): 2 nm；可選配: 0.5 nm | 50 nm |
13 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D-Sub15；.UHV 版本: Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)- | |
14 | 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 | MC-Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品特色
· 超高真空，完*無磁版本兼容
· 百萬次全行程耐久測(cè)試
· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)
· 超精密運(yùn)動(dòng)
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸
LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)項(xiàng) | LS65x.Lab | LS65x.Lab.E |
特殊版本 | .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完*無磁版本 | 無 |
外形尺寸 | 65 × 65 × 13 mm | 65 × 65 × 13 mm |
主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：160 g；.HV, .UHV 純鈦，鋼：260 g；.NM, 純鈦，陶瓷：110 g | 鋁合金，鋼：160 g |
運(yùn)動(dòng)行程 | 30 mm | 30 mm |
速度范圍 | 默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 20 mm/s；.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
驅(qū)動(dòng)力 | 典型值: 2 N；可選配: 4 N | |
保持力 | 典型值: 3 N；可選配: 5 N | |
水平方向使用*大負(fù)載 | 2 kg | |
豎直方向使用*大負(fù)載 | 默認(rèn): 100 g；可選配: 250 g | |
雙向位置重復(fù)精度 | ± 100 nm | ± 300 nm |
全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
最小步伐 (閉環(huán)) | 5 nm | 100 nm |
位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
線纜 & 接頭 | 默認(rèn): 屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15 (PEEK) | |
控制器規(guī)格 | MC-Newton.S系列 | |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品特色
· 超高真空，完*無磁版本兼容
· 百萬次全行程耐久測(cè)試
· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸
LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | LS65z.Lab | LS65z.Lab.E |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本 | 無 |
2. 外形尺寸 | 65 × 65 × 44 mm | 65 × 65 × 44 mm |
3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：310 g；.NM 純鈦，陶瓷：270 g；.HV .UHV 純鈦，鋼：500 g | 鋁合金，鋼：310 g |
4. 運(yùn)動(dòng)行程 | 10 mm | 10 mm |
5. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s | - |
6. 保持力 | 7.5 N | 7.5 N |
7. 水平方向使用*大負(fù)載 | 典型值：500 g；可選配：1.5 kg | - |
8. 雙向位置重復(fù)精度 | ± 150 nm | ± 300 nm |
9. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
10. 最小步優(yōu)（閉環(huán)） | 5 nm | 100 nm |
11. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
12. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
13. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | - |
14. 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 | MC-Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 斷電位置自保持
· 更大負(fù)載能力
· 納米級(jí)分辨率
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸
LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | LS80z.Lab |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； |
.UHV，超高真空版本； | |
.NM，完*無磁版本 | |
2. 外形尺寸 | 80 × 80 × 40 mm |
3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：720 g； |
.HV .UHV 純鈦，鋼：840 g； | |
.NM 純鈦，陶瓷：640 g | |
4. 運(yùn)動(dòng)行程 | 10 mm |
5. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 3 mm/s； |
.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3 mm/s | |
6. 保持力 | 15 N |
7. 水平方向使用*大負(fù)載 | 典型值：1 kg；可選配：3 kg |
8. 雙向位置重復(fù)精度 | ± 150 nm |
9. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad |
10. 最小步優(yōu)（閉環(huán)） | 5 nm |
11. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
12. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；經(jīng)濟(jì)版本 .E 50 nm |
13. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； |
.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
14. 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 |
*更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 納米級(jí)分辨率
· 斷電位置自保持
· 更大負(fù)載能力
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品尺寸
“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | LS105x.Lab |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； |
.UHV，超高真空版本； | |
.NM，完*無磁版本 | |
2. 外形尺寸 | 105 × 105 × 20 mm |
3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：630 g； |
.HV .UHV 純鈦，鋼：910 g； | |
.NM 純鈦，陶瓷：770 g | |
4. 運(yùn)動(dòng)行程 | 60 mm（加長(zhǎng)版本*高可至 200 mm） |
5. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； |
.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
6. 驅(qū)動(dòng)力 | 3 N |
7. 保持力 | 5 N |
8. 水平方向使用*大負(fù)載 | 4 kg |
9. 雙向位置重復(fù)精度 | ±100 nm |
10. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.2 mrad |
11. 最小步優(yōu)（閉環(huán)） | 5 nm |
12. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
13. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；經(jīng)濟(jì)版本 .E 50 nm |
14. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； |
.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
15. 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 斷電位置自保持
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 中空結(jié)構(gòu)
· 納米級(jí)分辨率
· 可與線性臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品尺寸
“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | RS35.Lab | RS35.Lab.E |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； | 無 |
.UHV，超高真空版本； | ||
.NM，完*無磁版本 | ||
2. 外形尺寸 | 35 × 35 × 11 mm | 35 × 35 × 11 mm |
3. 中通直徑 | Φ 5 mm | Φ 5 mm |
4. 轉(zhuǎn)盤直徑 | Φ 33.5 mm | Φ 33.5 mm |
5. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：鋼，70 g； | 鋼：70 g |
.NM：純鈦，陶瓷，90 g | ||
6. 運(yùn)動(dòng)行程 | 360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng) | 360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng) |
7. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.0005°/s ~ 45°/s； .HV & .UHV 版本：推薦使用 4.5°/s | |
8. *大負(fù)載（底座水平放置） | 500 g | 500 g |
9. 保持力矩 | 0.05 N·m | 0.05 N·m |
10. 驅(qū)動(dòng)力矩 | 0.02 N·m | 0.02 N·m |
11. 最小步優(yōu) | 3 μrad | 10 μrad |
12. 雙向重復(fù)定位精度 | ± 7.5 μrad | ± 25 μrad |
13. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
14. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本：0.2 μrad； | 3 μrad |
經(jīng)濟(jì)版本 .E：3 μrad | ||
15. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； .UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
16. 控制器規(guī)格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS65.Lab產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 中空結(jié)構(gòu)
· 斷電位置自保持
· 納米級(jí)分辨率
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 可與線性臺(tái)，搖擺臺(tái)等自由堆疊組合
RS65.Lab產(chǎn)品尺寸
“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS65.Lab產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | RS65.Lab | RS65.Lab.E |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； | 無 |
.UHV，超高真空版本； | ||
.NM，完*無磁版本 | ||
2. 外形尺寸 | 65 × 65 × 13 mm | 65 × 65 × 13 mm |
3. 中通直徑 | Φ 25.4 mm | Φ 25.4 mm |
4. 轉(zhuǎn)盤直徑 | Φ 62 mm | Φ 62 mm |
5. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：120 g； | 鋁合金，鋼：120 g |
.HV，.UHV 純鈦，鋼：170 g； | ||
.NM 純鈦，陶瓷：120 g | ||
6. 運(yùn)動(dòng)行程 | 360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng) | 360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng) |
7. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.0005 °/s ~ 25 °/s； .HV & .UHV 版本：推薦使用 2.5 °/s | |
8. *大負(fù)載（底座水平放置） | 1 kg | 1 kg |
9. 保持力矩 | 0.1 N·m | 0.1 N·m |
10. 驅(qū)動(dòng)力矩 | 0.04 N·m | 0.04 N·m |
11. 最小步伐 | 3 μrad | 10 μrad |
12. 雙向重復(fù)定位精度 | ± 5 μrad | ± 20 μrad |
13. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
14. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本：0.07 μrad； | 2 μrad |
經(jīng)濟(jì)版本 .E：2 μrad | ||
15. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； .UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
16. 控制器規(guī)格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
角擺位移臺(tái)一GS35-35.Lab&GS35-55.Lab產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 納米級(jí)分辨率
· 斷電位置自保持
· 可與線性臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)等自由堆疊組合
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 共旋轉(zhuǎn)中心設(shè)計(jì)的2軸角擺臺(tái)疊加
GS35-35.Lab產(chǎn)品尺寸
角擺位移臺(tái)一GS35-55.Lab產(chǎn)品尺寸
角擺位移臺(tái)一GS35-35.Lab&GS35-55.Lab產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | GS35-35.Lab | GS35-55.Lab |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； | .HV，高真空版本； |
.UHV，超高真空版本； | .UHV，超高真空版本； | |
.NM，完*無磁版本 | .NM，完*無磁版本 | |
2. 外形尺寸 | 35 × 35 × 20 mm | 35 × 35 × 20 mm |
3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：不銹鋼：250 g； | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：不銹鋼：250 g； |
.NM：純鈦，陶瓷：90 g | .NM：純鈦，陶瓷：90 g | |
4. 運(yùn)動(dòng)行程 | ± 8° | ± 8° |
5. 搖擺半徑 | 35 mm（距離臺(tái)面距離） | 55 mm（距離臺(tái)面距離） |
6. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.0005°/s ~ 3°/s； | 默認(rèn)：0.0005°/s ~ 3°/s； |
.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s | .HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s | |
7. *大負(fù)載 | 1 kg | 1 kg |
8. 保持力矩 | 0.2 N·m | 0.2 N·m |
9. 驅(qū)動(dòng)力矩 | 0.07 N·m | 0.07 N·m |
10. 最小步優(yōu)（閉環(huán)） | 2 μrad | 2 μrad |
11. 雙向重復(fù)定位精度 | ± 10 μrad | ± 10 μrad |
12. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
13. 位置傳感器分辨率 | 0.05 μrad | 0.03 μrad |
14. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； |
.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | .UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
15. 控制器規(guī)格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。
角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab&GS65-97.Lab產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動(dòng)
· 納米級(jí)分辨率
· 斷電位置自保持
· 可與線性臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)等自由堆疊組合
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 共旋轉(zhuǎn)中心設(shè)計(jì)的2軸角擺臺(tái)疊加
角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab產(chǎn)品尺寸
角擺位移臺(tái)一GS65-97.Lab產(chǎn)品尺寸
角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab&GS65-97.Lab產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù) | GS65-77.Lab | GS65-97.Lab |
1. 特殊版本 | .HV，高真空版本； | .HV，高真空版本； |
.UHV，超高真空版本； | .UHV，超高真空版本； | |
.NM，完*無磁版本 | .NM，完*無磁版本 | |
2. 外形尺寸 | 70 × 70 × 20 mm | 70 × 70 × 20 mm |
3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金：310 g； | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金：310 g； |
.HV 純鈦，鋼：310 g； | .HV 純鈦，鋼：310 g； | |
.UHV 純鈦，鋼：430 g； | .UHV 純鈦，鋼：430 g； | |
.NM 純鈦，陶瓷：290 g | .NM 純鈦，陶瓷：290 g | |
4. 運(yùn)動(dòng)行程 | ± 10° | ± 10° |
5. 搖擺半徑 | 77 mm（距離臺(tái)面距離） | 97 mm（距離臺(tái)面距離） |
6. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.0005°/s ~ 3°/s； | 默認(rèn)：0.0005°/s ~ 3°/s； |
.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s | .HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s | |
7. *大負(fù)載 | 2 kg | 2 kg |
8. 保持力矩 | 0.4 N·m | 0.4 N·m |
9. 驅(qū)動(dòng)力矩 | 0.15 N·m | 0.15 N·m |
10. 最小步伐 | 1 μrad | 1 μrad |
11. 雙向重復(fù)定位精度 | ± 7.5 μrad | ± 7.5 μrad |
12. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
13. 位置傳感器分辨率 | 0.02 μrad | 0.02 μrad |
14. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15； |
.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | .UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | |
15. 控制器規(guī)格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
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